窒化ケイ素(Si3N4)は、ケイ素の窒化物でカラーは濃い灰色です。非常に硬質で曲げ強さにおいては他のセラミックより勝っています。耐熱衝撃性、高温強度、耐磨耗性、耐衝撃性に優れファインセラミックスの中では最もバランス良い材質です。熱膨張率が低い材質です。
またクリーンな場所にも使用されています。
耐磨耗部品、エンジン部品、ガスタービン用材料・ベアリング部品、シャフト、自動車部品、半導体製造装置の部品、焼却器の部品
性質 | 単位 | 値 |
---|---|---|
純度 | % | >90 |
比重 | g/cm3 | 3.26 |
ヤング率 | Gpa | 300 |
摩擦係数 | 0.1 | |
比熱 | J/kg・K | 740 |
線膨張係数 | 10-6/℃ | 3.4 |
熱伝導率 | W/(m・K) | 23.0 |
体積抵抗率 | Ω・m | 1013 |
硬度(ビッカーズ) | HV | 1400~1600 |
使用温度 | ℃ | 32~2192 |
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